特許

J-GLOBAL ID：200903088744308798

ビート光共振による薄膜評価装置

発明者： 笹山 則生
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-022244
公開番号（公開出願番号）：特開2003-222616
出願日： 2002年01月30日
公開日（公表日）： 2003年08月08日
要約：

【要約】【課題】 不透明薄膜の膜厚を測定するために、光励起した超音波のエコー間隔を測定する方法がある。しかし、繰り返されるエコー間隔の情報を有効に活用できない、またはマイクロメートル以下の薄膜に対応できない等の問題を抱えていた。【解決手段】 共振法で利用するレーザー励起光として、波長の異なる2個のレーザー光を干渉させて作ったビート光を利用する。これにより、非常に高い周波数で強度変化する励起光を用意し、マイクロメートル以下の薄膜測定に対応する。共振法の利用により、繰り返されるエコー間隔の情報を有効に活用する。また、ビート光を利用した共振法に適した振動測定手段も提案する。

請求項（抜粋）：

試料薄膜に超音波共振を発生させ、その表面振動を測定するための、超音波励起用の複数の連続レーザーと、薄膜共振観測用の連続レーザーと、これらのレーザーを試料表面に導く光学回路と、及び検出器とで構成され、前記超音波励起用の連続レーザーのうちの2個のレーザーからビート光を発生させる手段と、そのビート光のビート周波数を変化させる手段と、及び前記観測用レーザーから参照光を分離し、試料による反射光と干渉させ前記検出器に導く手段を含む薄膜評価装置。

IPC (4件)：

G01N 29/00 501 ,  G01B 11/06 ,  G01B 17/02 ,  G01J 3/447

FI (4件)：

G01N 29/00 501 ,  G01B 11/06 G ,  G01B 17/02 Z ,  G01J 3/447

Fターム (29件)：

2F065AA30 ,  2F065BB01 ,  2F065BB17 ,  2F065CC31 ,  2F065FF51 ,  2F065GG04 ,  2F065HH01 ,  2F065HH13 ,  2F065LL12 ,  2F065UU07 ,  2F068AA28 ,  2F068BB01 ,  2F068BB15 ,  2F068FF12 ,  2F068FF25 ,  2F068GG07 ,  2F068TT07 ,  2G020CA12 ,  2G020CA15 ,  2G020CB05 ,  2G020CB23 ,  2G047AB05 ,  2G047BA04 ,  2G047BC02 ,  2G047BC18 ,  2G047BC20 ,  2G047CA04 ,  2G047EA10 ,  2G047GD01