特許
J-GLOBAL ID：200903088745043330
脆性板切断方法およびその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小野寺 洋二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-172813
公開番号（公開出願番号）：特開平6-016441
出願日： 1992年06月30日
公開日（公表日）： 1994年01月25日
要約：
【要約】【目的】 脆性板を如何なるパターンの形状にも高い精度で切断する。【構成】 被加工脆性板に所定パターンの切り溝を形成工程(1)と、被加工脆性板の前記切り溝側面に、切り溝に対応した稜線をもつ突堤を備えた治具を弾性部材を介して重積する工程(2)と、治具に対して被加工脆性板の平面と直角な方向に圧力を印加するプレス工程(3)とを含み、被加工脆性板の切り溝に沿った部分のみに前記弾性部材を介して圧力を加え、切り溝に沿って切断する。【効果】 切り溝に沿って均一な引っ張り力を与えて脆性板を切断するものであるため、切断すべき形状にこだわらず高精度な脆性板切断が可能である。
請求項（抜粋）：
被加工脆性板に所定パターンの切り溝を形成する切り溝加工工程と、前記切り溝を加工した被加工脆性板の前記切り溝側面に、前記切り溝のパターンに対応した稜線をもち、前記被加工脆性板方向高さが均一な突堤を備えた治具を、弾性部材を介して重積する治具重積工程と、前記治具に対して、前記被加工脆性板の平面と直角な方向に圧力を印加するプレス工程と、を含み、前記被加工脆性板の切り溝に沿った部分のみに前記弾性部材を介して圧力を加えることにより、前記被加工脆性板を前記切り溝に沿って切断し、前記所定パターンの切断加工済脆性板を得ることを特徴とする脆性板切断方法。
IPC (4件)：
C03B 33/04
, B26F 3/04
, C03B 33/033
, H01L 21/78
