雰囲気センサの構造

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高野明近 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-359710
公開番号（公開出願番号）：特開平6-118046
出願日： 1991年12月27日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：

【要約】【目的】橋架薄膜絶縁体の支持架橋部における構造強化、橋架薄膜絶縁体上に配設された発熱抵抗体の破損防止を図る。【構成】凹部11を有する基板10と、該基板10上に配設された固定部12aと該固定部12aに続く支持架橋部12bと該支持架橋部12bを介して前記凹部11の上に橋架された橋架部12cとから成る薄膜絶縁体12と、該薄膜絶縁体12の上に配設された発熱抵抗体13とから成り、該発熱抵抗体13が発生する熱が測定される雰囲気によって奪われることによって生じる該発熱抵抗体13の抵抗値から該雰囲気を測定する。薄膜絶縁体12の固定部12aと支持橋部12bとの間の支持架橋端部Aにおける平面形状が鈍角に形成されている。

請求項（抜粋）：

凹部を有する基板と、該基板上に配設された固定部と該固定部に続く支持架橋部と該支持架橋部を介して前記凹部の上に橋架された橋架部とから成る薄膜絶縁体と、該薄膜絶縁体の上に配設された発熱抵抗体とから成り、該発熱抵抗体が発生する熱が測定される雰囲気によって奪われることによって生じる該発熱抵抗体の抵抗値から該雰囲気を測定する雰囲気センサにおいて、前記薄膜絶縁体の固定部と支持架橋部との間の架橋端部における平面形状が鈍角に形成されていることを特徴とする雰囲気センサの構造。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-094150
特開平3-092754
特開昭60-060547

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