特許

J-GLOBAL ID：200903088755247413

磁気コアを有するオンチップ・インダクタ

発明者： ハニ・ディン ,  カイ・ディー・フェン ,  チョン・シャン・フー ,  シューフェン・リュ
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション
代理人 (3件)： 坂口 博 ,  市位 嘉宏 ,  上野 剛史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-187571
公開番号（公開出願番号）：特開2006-013111
出願日： 2004年06月25日
公開日（公表日）： 2006年01月12日
要約：

【課題】集積回路チップ上に形成されるインダクタを提供すること。【解決手段】2つ以上の外部層(14)の間にある1つまたは複数の内部層(12)と、1つまたは複数の内部層(12)に含まれるインダクタ金属巻線ターン(16)と、2つ以上の外部層(14)および1つまたは複数の内部層(12)を形成する磁性部材とを備えている。一実施形態では、磁性部材は、磁性粒子を有するフォトレジスト・ペーストである。他の実施形態では、磁性部材は、2つ以上の外部層(14)の前記第1および第2部分(30および34)のそれぞれの上、ならびに1つまたは複数の内部層(12)のそれぞれの上に配設された一連の磁性金属ストリップ(32および36)である。第1部分および第2部分(30、34)上の一連の磁性金属ストリップは格子パターンを形成する。他の態様は、調節可能で制御された化合物の堆積および調節可能な電流を有する制御巻線を含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

集積回路チップ上に形成されるインダクタであって、 2つ以上の外部層と、 前記2つ以上の外部層の間にある1つまたは複数の内部層と、 前記1つまたは複数の内部層に含まれるインダクタ金属巻線ターンと、 少なくとも部分的に前記2つ以上の外部層および前記1つまたは複数の内部層を形成する、磁性粒子を有するフォトレジスト・ペーストと を備えたインダクタ。

IPC (5件)：

H01F 17/04 ,  H01F 27/28 ,  H01F 37/00 ,  H01F 41/04 ,  H01F 27/42

FI (7件)：

H01F17/04 F ,  H01F17/04 A ,  H01F27/28 L ,  H01F37/00 A ,  H01F37/00 C ,  H01F41/04 B ,  H01F15/18

Fターム (6件)：

5E043AA01 ,  5E062FF01 ,  5E070AA01 ,  5E070AB03 ,  5E070AB06 ,  5E070BB01

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 積層型磁性体部品の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-024474   出願人：ティーディーケイ株式会社
• 積層インダクタ部品の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-119385   出願人：京セラ株式会社
• インダクタ素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-321256   出願人：株式会社ティ・アイ・エフ
• 平面型磁気素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-075720   出願人：富士電機株式会社