特許

J-GLOBAL ID：200903088755886483

基板処理装置

発明者： 遠目塚 幸二
出願人/特許権者： 株式会社日立国際電気
代理人 (1件)： 梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-223986
公開番号（公開出願番号）：特開2002-043389
出願日： 2000年07月25日
公開日（公表日）： 2002年02月08日
要約：

【要約】【課題】 コストの増加を抑制しつつ複数のキャリアを扱うものとする。【解決手段】 キャリア口12に移送されたキャリア10は上側室22に設置されたキャリア移送装置30でキャリア口12からストッカ14の入出庫口15に移送され、昇降式棚装置16の三段の棚板19に移載される。キャリア10はローディングポート20のウエハ口21に昇降式棚装置16で順次移送され、キャリア開閉装置25で開かれる。キャリア10の複数枚のウエハWはボート9に下側室23に設置されたウエハ移載装置40で移載された後、プロセスチューブ4に搬入処理される。処理済みウエハWはウエハ移載装置40でボート9からキャリア10に収納され、キャリア10は逆の順でキャリア口12に移送される。【効果】 ウエハ移載装置のキャリアへのウエハ移載中にキャリア移送装置のキャリア移送を実施できるため、小形を図りつつスループットを向上できる。

請求項（抜粋）：

基板収納容器を移送する基板収納容器移送装置と、前記基板収納容器に基板を出し入れする基板移載装置とが上下に配置されており、前記基板収納容器移送装置の設置室と、前記基板移載装置の設置室とが上下に隔絶されていることを特徴とする基板処理装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/22 511 ,  H01L 21/22

FI (5件)：

H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 T ,  B65G 49/07 L ,  H01L 21/22 511 J ,  H01L 21/22 511 B

Fターム (21件)：

5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031DA17 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA09 ,  5F031FA14 ,  5F031GA02 ,  5F031GA03 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031LA12 ,  5F031MA11 ,  5F031MA15 ,  5F031MA16 ,  5F031MA28 ,  5F031NA02 ,  5F031NA07