特許

J-GLOBAL ID：200903088759388356

リンス機用温洗浄液供給装置

発明者： 伊藤 隆志 ,  斎藤 博之 ,  木南 治行 ,  小中 敏典 ,  村井 剛
出願人/特許権者： エム・セテック株式会社
代理人 (1件)： 森 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-240826
公開番号（公開出願番号）：特開平9-064010
出願日： 1995年08月25日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：

【要約】【課題】 半導体ウエハの洗浄等に用いるリンス機用温洗浄液供給装置において、洗浄液を貯蔵,保存しておくための大型のタンクを不要とすることにより、設備費用を少なくし、設置面積を小さくし、装置の立ち上げに要する時間を大幅に短縮する。温度が安定した洗浄液を供給し、洗浄液として薬液を用いる場合でも薬液の特性変化を少なくする。【解決手段】流入口(1)より流入した洗浄液を温度調整部(2)で加熱し、温度調整された洗浄液を流出口(3)よりリンス機(6)に供給する装置。供給する必要のないときには洗浄液を保温しつつ装置内で循環させる。

請求項（抜粋）：

流入口より流入した洗浄液を温度調整部で加熱し、温度調整された洗浄液を流出口よりリンス機に供給するリンス機用温洗浄液供給装置であって、供給する必要のないときには洗浄液を保温しつつ装置内で循環させることを特徴とするリンス機用温洗浄液供給装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/304 341 Z ,  H01L 21/30 569 A