スパッタリングターゲット用バッキングプレート

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：久保山隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-008525
公開番号（公開出願番号）：特開平11-200030
出願日： 1998年01月20日
公開日（公表日）： 1999年07月27日
要約：

【要約】【課題】高弾性係数、高熱伝導率、低熱膨張率等の特性をバランス良く満たし、かつ軽量なスパッタリングターゲット用バッキングプレートを提供する。【解決手段】(1)セラミックス強化材を2体積%以上、80体積%以下含有するアルミニウムマトリックス複合材料からなるスパッタリングターゲット用バッキングプレート。(2)セラミックス強化材がα-アルミナ粉末であり、該α-アルミナ粉末が、重量累積粒度分布の微粒側から累積50%の粒径をD50としたとき、D50が0.1μm以上、50μm以下のα-アルミナ粉末である上記(1)記載のスパッタリングターゲット用バッキングプレート。(3)α-アルミナ粉末が、実質的に破面を有さず、長径/短径比が5未満の多面体一次粒子からなり、重量累積粒度分布の微粒側から累積10%、累積50%の粒径をそれぞれD10、D50としたとき、D50/D10比が2以下のα-アルミナ粉末である上記(2)記載のスパッタリングターゲット用バッキングプレート。

請求項（抜粋）：

セラミックス強化材を2体積%以上、80体積%以下含有するアルミニウムマトリックス複合材料からなるスパッタリングターゲット用バッキングプレート。

IPC (5件)：

C23C 14/34 , C22C 21/00 , C22C 32/00 , H01L 21/203 , C22C 1/10

FI (5件)：

C23C 14/34 C , C22C 21/00 E , C22C 32/00 Q , H01L 21/203 S , C22C 1/10 G

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