特許

J-GLOBAL ID：200903088765836875

ウエハ研磨装置及びウエハ研磨方法

発明者： ▲吉▼田 卓 ,  平岡 尚樹
出願人/特許権者： 富士通株式会社 ,  富士通ヴィエルエスアイ株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-342963
公開番号（公開出願番号）：特開平6-196456
出願日： 1992年12月24日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：

【要約】【目的】 ウエハ研磨装置及びウエハ研磨方法に関し,ウエハ或いはウエハ上に形成されたパターンの加工精度を上げる。【構成】 緩衝板2を介して研磨すべきウエハ3を保持するホルダ1と, ホルダ1に一面を固定され, 一面の反対側の面に研磨すべきウエハ3が張り付けられる緩衝板2と, ホルダ1に取り付けられ,一面に垂直な方向に長い複数のピン4と, 複数のピン4を垂直な方向に移動してピンの先端を一面に接触させ, 一面に圧力を印加するピン移動手段5と, 複数のピン4の移動方向に配置され, 緩衝板2に埋め込まれた複数の圧力センサ6とを有するウエハ研磨装置である。また,このウエハ研磨装置を用い,予備的に研磨し複数の圧力センサ6に生じる圧力を調節した後,ウエハ3の研磨を行うウエハの研磨方法である。また,前記緩衝板2は高分子物質からなる。

請求項（抜粋）：

緩衝板(2) を介して研磨すべきウエハ(3) を保持するホルダ(1) と,該ホルダ(1) に一面を固定され, 該一面の反対側の面に研磨すべきウエハ(3)が張り付けられる緩衝板(2) と,該ホルダ(1) に取り付けられ,該一面に垂直な方向に長い複数のピン(4) と,該複数のピン(4) を該垂直な方向に移動してピンの先端を該一面に接触させ,該一面に圧力を印加するピン移動手段(5) と,該複数のピン(4) の移動方向に配置され, 該緩衝板(2) に埋め込まれた複数の圧力センサ(6) とを有することを特徴とするウエハ研磨装置。

IPC (4件)：

H01L 21/304 321 ,  H01L 21/304 ,  B24B 37/00 ,  B24B 37/04