特許
J-GLOBAL ID：200903088779808300
厚膜材料劈開工程中の温度制御装置および温度制御方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 満
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-014736
公開番号（公開出願番号）：特開2008-285397
出願日： 2008年01月25日
公開日（公表日）： 2008年11月27日
要約：
【課題】厚膜材料製造中における温度制御の方法および装置を提供する。【解決手段】温度制御装置100は、注入され続いて劈開されるバルク材料110を支持する平面122を有するステージ120を備え、バルク材料は表面領域112、側部領域117、および底部領域118を有する。装置はさらに、バルク材料とステージの界面領域を通じて熱エネルギーの移動をするためにバルク材料が平面と接触する一方で表面領域が露出されるよう構成された機械的クランプ装置130と、表面領域の温度値を測定し、入力データを生成するセンサ装置150と、バルク材料の表面領域の一つまたは複数の部分に複数の粒子を注入する注入装置と、少なくともステージの平面とバルク材料の底部領域の間の界面領域を通じて表面領域の温度値を上昇および/または下降させるよう入力データを受信し、処理する制御装置160とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
厚膜材料製造の温度制御装置であって、前記装置は、
注入されるバルク材料を支持する平面を有するステージであって、前記バルク材料は表面領域、側部領域、および底部領域を有し、前記側部領域、前記底部領域、および前記表面領域は材料体積を与え、前記材料体積が前記底部領域と前記表面領域の間で規定される長さを有する、ステージと、
前記バルク材料と前記ステージの平面間の界面領域を通じて熱エネルギーの移動をするために前記バルク材料が前記平面と物理的に接触する一方で前記バルク材料の表面領域が実質的に露出されるよう前記バルク材料の底面領域が前記ステージの平面に係合するように設けられた機械的クランプ装置と、
前記表面領域の温度値を測定し、入力データを生成するように構成されたセンサ装置と、
前記バルク材料の表面領域の一つまたは複数の部分に複数の粒子を注入するように構成された注入装置と、
前記入力データを受信し、少なくとも前記ステージの平面と前記バルク材料の底部領域の間の前記界面領域を通じて前記バルク材料の表面領域の温度値を上昇および/または下降させるよう前記入力データを処理するように構成された制御装置と、を備えることを特徴とする装置。
IPC (4件)：
C30B 33/00
, B28D 5/00
, C30B 31/22
, H01L 21/02
C30B33/00
, B28D5/00 Z
, C30B31/22
, H01L21/02 B
3C069AA01
, 3C069BB01
, 3C069CA04
, 4G077AA02
, 4G077BA04
, 4G077BA05
, 4G077FD02
, 4G077FG14
, 4G077HA01
