暗視野落射顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-172437
公開番号（公開出願番号）：特開平9-288237
出願日： 1996年07月02日
公開日（公表日）： 1997年11月04日
要約：

【要約】【課題】照明光を高効率かつ一様に被測定物に照射して、コントラストのよい光像を観察する。【解決手段】光源10から出力された照明光Aは、コレクタレンズ11、開口絞り14、視野絞り15およびコリメータレンズ16を経て、二重円錐鏡30に入射して、殆ど損失なく平行輪帯光束に成形される。平行輪帯光束とされた照明光Aは、輪帯リレーレンズ40、輪帯反射鏡43および輪帯リレーレンズ41と42を経て、やはり殆ど伝送損失なくコンデンサレンズ50に入射する。照明光Aは、コンデンサレンズ50によって被測定物60表面に高効率に集光照射される。これに伴って発生した散乱光Bは、対物レンズ70を経て光検出器90で像が検出される。

請求項（抜粋）：

第1の光束を出力する光源部と、前記第1の光束を入力し輪帯形状に成形して出力する輪帯光束形成手段と、輪帯形状の前記第1の光束を伝送するリレーレンズ系と、前記リレーレンズ系から出力された前記第1の光束を入力し被測定物の所定領域に集光照射する輪帯形状のコンデンサレンズと、前記コンデンサレンズの内側に同軸に配置され、前記第1の光束が照射された前記被測定物の前記所定領域から発した第2の光束を入力し、所定位置に結像する対物レンズと、前記対物レンズで結像された前記第2の光束を検出する光検出手段と、を備えることを特徴とする暗視野落射顕微鏡。

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭55-057816
特開昭59-049514
特開昭58-016214

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