特許
J-GLOBAL ID：200903088790438698
レチクル
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-242836
公開番号（公開出願番号）：特開平7-098496
出願日： 1993年09月29日
公開日（公表日）： 1995年04月11日
要約：
【要約】【目的】 基板表面の凹凸が激しい場合でも同一の層に対して同一の条件での露光を可能にし、さらに、複数の層のパターニングをも可能にするレチクルを得る。【構成】 透光性の基板の片面に、透光性部材を介して、遮光性パターンを複数層形成するか、あるいは、基板の表面に第1の遮光性パターンを形成し、その裏面に第2の遮光性パターンを形成するようにしたものである。
請求項（抜粋）：
透光性の基板上に膜状の遮光性パターンが形成されたレチクルにおいて、前記基板の片面に、透光性部材を介して、複数層の遮光性パターンを形成したことを特徴とするレチクル。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 502 P
, H01L 21/30 528
