特許
J-GLOBAL ID：200903088802593945
走査プローブ顕微鏡およびその探針の形状測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-031861
公開番号（公開出願番号）：特開平8-201405
出願日： 1995年01月30日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：
【要約】【目的】 走査プローブ顕微鏡の探針先端形状を高分解能でその場観察可能な形状測定装置および測定方法を提供する。【構成】 探針と、試料と、制御系装置と、電圧印加装置から構成され、電圧印加装置により探針と試料との間に電圧の印加が行える。また、探針と試料とを接近させ電圧印加装置を用いて探針と試料との間に電圧を印加することにより試料表面上に突起状構造を形成し、この突起状構造を探針を用いて走査する。
請求項（抜粋）：
試料表面に対向して配置される探針、該探針と試料表面間の距離をほぼ一定に制御するための手段および該制御に関する信号と探針-試料表面との相対的な走査信号とから前記試料表面の形状に関する情報を得る走査プローブ顕微鏡において、前記試料表面と前記探針間に電圧を印加する手段を備えることを特徴とする走査プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
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