特許

J-GLOBAL ID：200903088820876555

顕微鏡のオートフォーカス方法及び装置

発明者： 臣永 完
出願人/特許権者： 株式会社日立国際電気
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-129873
公開番号（公開出願番号）：特開2001-311866
出願日： 2000年04月28日
公開日（公表日）： 2001年11月09日
要約：

【要約】【課題】 テレビカメラ顕微鏡において、視野内の所望の位置の焦点合わせを高精度かつ高速に行うこと。【解決手段】 平行レーザー光線を顕微鏡光路に入射し、これを試料面に結像させ、該試料面からの戻り光をフォトダイオードに入射する。このフォトダイオードの入射光量から、焦点ずれの方向と、ずれ量を検出して、レンズまたは試料をその合焦点方向にずれ量だけ補正するように移動させる合焦点動作を行う。一方、この合焦点動作中に、前記試料面顕微鏡画像を撮像するテレビカメラからの画像を画像処理により、予め登録しておいた試料面の被測定位置の画像と、前記撮像画像とのマッチングを図り、被測定ポイントと、フォーカスポイントを一致させるように前期試料を載置するステージを移動して視野内の任意の点にオートフォーカスするようにした。

請求項（抜粋）：

平行レーザー光線を顕微鏡光路に入射し、これを試料面に結像させ、該試料面からの戻り光をフォトダイオードに入射し、該フォトダイオードの入射光量から、焦点ずれの方向と、ずれ量を検出して、該焦点ずれの方向と量を補正するように対物レンズと試料面との距離を移動し、合焦点動作を行うと同じに、前記試料面顕微鏡画像を撮像するテレビカメラからの画像を基に、試料面の被測定ポイントと、前記合焦点動作のフォーカスポイントを一致させるように前記試料を載置するステージを移動して視野内の任意の点にオートフォーカスするようにしたことを特徴とする顕微鏡のオートフォーカス方法。

IPC (3件)：

G02B 7/28 ,  G02B 21/26 ,  G02B 21/36

FI (3件)：

G02B 21/26 ,  G02B 21/36 ,  G02B 7/11 J

Fターム (14件)：

2H051AA11 ,  2H051BA24 ,  2H051CB11 ,  2H051CB19 ,  2H051CC03 ,  2H051CE26 ,  2H051CE27 ,  2H052AC04 ,  2H052AD09 ,  2H052AD19 ,  2H052AD34 ,  2H052AF14 ,  2H052AF23 ,  2H052AF25