特許
J-GLOBAL ID：200903088825848002

基板処理システム、基板処理装置、追加情報取得方法、プログラム及び記録媒体

発明者：
北本 徹

北本 徹 について

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亀井 謙治

亀井 謙治 について

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井上 秀和

井上 秀和 について

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濱田 哲也

濱田 哲也 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-205111
公開番号（公開出願番号）：特開2003-022200
出願日： 2001年07月05日
公開日（公表日）： 2003年01月24日
要約：
【要約】【課題】 基板処理装置の障害発生時に、最新の対処情報を即座に取得することができる基板処理システムを提供する。【解決手段】 基板処理システム10は、基板処理装置1とサポートコンピュータ3とを備え、それぞれネットワーク6に接続される。サポートコンピュータ3には、システム管理者によって最新の対処情報363が蓄積されている。基板処理装置1で障害が発生すると、アラーム処理部122によってアラーム定義ファイル161に従って動作制御がなされるとともに、障害の内容が表示部130に表示される。さらに、対処情報取得部128がサポートコンピュータ3に当該障害に対応する最新の対処情報363を要求する。これに応じてサポートコンピュータ3の対処情報提供部324から最新の対処情報363が返信される。これにより、障害発生時において最新の対処情報を即座に閲覧することができる。
請求項（抜粋）：
ネットワークを介して通信可能な基板処理装置を備える基板処理システムであって、前記基板処理装置に関連する情報であって、かつ追加的に前記基板処理装置のベンダーから提供された追加情報を蓄積する追加情報蓄積手段と、蓄積された前記追加情報を前記ネットワークを介して取得する追加情報取得手段と、を備えることを特徴とする基板処理システム。
IPC (3件)：
G06F 11/30 ,  G05B 23/02 ,  H01L 21/02
FI (3件)：
G06F 11/30 D ,  G05B 23/02 V ,  H01L 21/02 Z
Fターム (10件)：
5B042GA12 ,  5B042GB05 ,  5B042JJ02 ,  5B042KK12 ,  5B042KK15 ,  5H223AA05 ,  5H223CC08 ,  5H223DD03 ,  5H223EE06 ,  5H223FF03
引用特許：
審査官引用 (7件)
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