特許

J-GLOBAL ID：200903088826391103

走査電子顕微鏡

発明者： 兼岡 則幸 ,  影山 甲子男
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-124345
公開番号（公開出願番号）：特開平9-306407
出願日： 1996年05月20日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【課題】電子レンズの自動焦点制御が短時間に精度の良く行え快適な操作環境が得られる走査電子顕微鏡を提供する。【解決手段】発振器22,走査カウンタ23,変換テーブル24,D/A変換器25,26で構成する偏向信号発生手段21を備え、低分解能走査による自動焦点制御を行った後に高分解能走査により再度自動焦点制御を行う。

請求項（抜粋）：

電子線を放出する電子銃と、前記電子線を細く絞る電子レンズと、前記電子線を試料上に二次元走査させる偏向器と、前記試料から発生する二次粒子を検出する二次粒子検出器と、検出信号をディジタルの画像データに変換するA/D変換器と、前記画像データを記憶する画像メモリと、前記画像メモリから読み出した前記画像データを映像信号に変換するD/A変換器と、画像を表示するディスプレイとで構成される走査電子顕微鏡において、発振器と、走査カウンタと、変換テーブルと、前記D/A変換器とで構成する偏向信号発生手段を備えることを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/22 502 ,  H01J 37/21

FI (2件)：

H01J 37/22 502 H ,  H01J 37/21 B