特許
J-GLOBAL ID：200903088826970847
画像検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-343479
公開番号（公開出願番号）：特開平9-180666
出願日： 1995年12月28日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：
【要約】【課題】 従来よりも検出効率を大きく向上させることができる画像検出装置を提供すること。【解決手段】 走査対象物に対してビームまたはプローブを走査信号に従って走査させることにより走査対象物にかかる画像信号を得る画像検出装置において、前記走査信号として、下記のアークサイン状パルスの水平走査信号X(t)及び垂直走査信号Y(t)をそれぞれ1サイクルとして、繰り返して用いたことを特徴とする画像検出装置。〔水平走査信号の1サイクル〕 0≦t≦aX(t)=(A/π){π/2+arcsin(2t/a-1)}〔垂直走査信号の1サイクル〕 0≦t≦bY(t)=(B/π){π/2+arcsin(2t/b-1)}ただし、 A,B:走査幅a,b:周期(a<b)t:1サイクル中の時間
請求項（抜粋）：
走査対象物に対してビームまたはプローブを走査信号に従って走査させることにより走査対象物にかかる画像信号を得る画像検出装置において、前記走査信号として、アークサイン状パルスの繰り返しを用いたことを特徴とする画像検出装置。
IPC (4件)：
H01J 37/22 502
, G01N 35/00
, H01J 37/147
, H01J 37/28
H01J 37/22 502 Z
, G01N 35/00 A
, H01J 37/147 B
, H01J 37/28 Z
