特許

J-GLOBAL ID：200903088851483497

図形データ展開方法

発明者： 中島 和弘 ,  土屋 英雄
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-095304
公開番号（公開出願番号）：特開2002-296753
出願日： 2001年03月29日
公開日（公表日）： 2002年10月09日
要約：

【要約】【課題】 設計時のデータを作り直す必要なしに、検査装置内部でデータを再構築してステージの折り返し時間を省くことができる。【解決手段】 設計データが矩形領域(チップ領域)のデータ(チップデータ)とチップを配置するデータ(レイアウトデータ)とを定義して、レイアウトデータはそれぞれのチップの配置位置とチップ寸法から成り、チップデータは複数の設計ストライプの集合、設計ストライプデータはセルの集合、セルは図形の集合とする概念に基づくものであり、設計データを取り込み、設計データ内の隣接するチップ領域をカラム領域に再構成するカラム領域作成手段61と、カラム領域を1回のステージ移動で走査可能な装置ストライプ領域に分割するストライプ領域作成手段62と、設計データを構成する階層記述の適当な単位情報を装置ストライプ毎に抽出するストライプデータ作成手段63とから構成される。

請求項（抜粋）：

設計データが複数の矩形領域毎のデータで構成されている場合に、設計データを取り込んで所望ストライプ幅の図形データを作成する図形データ展開方法であって、領域演算を行って、隣接する矩形領域を一定方向に貫通したカラム領域に再構成するステップと、前記カラム領域を予め定められた幅の短冊状の領域である装置ストライプに切り分けるステップと、設計データを構成する階層記述の単位情報を装置ストライプ毎に抽出するステップとを含み、前記矩形領域を一定方向に貫通したカラム領域に再構成するステップとして、カラム貫通方向をX、その直交方向をYとし、各矩形領域の第1から第4の頂点座標を(X1,Y1),(X2,Y1),(X2,Y2),(X1,Y2)とした場合の第1及び第4の頂点座標情報(X1,Y1),(X1,Y2)を持った矩形領域開始符号と、第2及び第3の頂点座標情報(X2,Y1),(X2,Y2)を持った矩形領域終了符号を、全ての矩形領域に定義して、各々の矩形領域開始符号と矩形領域終了符号を他の矩形領域の第1から第4の頂点のY座標に照らし合わせ、他の矩形領域のいずれかのY座標にて分割可能であれば分割し、二つのY座標が共に等しい矩形領域開始符号と矩形領域終了符号同士を演算することを特徴とするデータ展開方法。

IPC (7件)：

G03F 1/08 ,  G01N 21/956 ,  G03F 7/20 501 ,  G06F 17/50 658 ,  G06F 17/50 666 ,  G06T 1/00 305 ,  H01L 21/027

FI (9件)：

G03F 1/08 A ,  G03F 1/08 B ,  G01N 21/956 A ,  G03F 7/20 501 ,  G06F 17/50 658 M ,  G06F 17/50 666 C ,  G06T 1/00 305 A ,  H01L 21/30 502 Z ,  H01L 21/30 502 P

Fターム (34件)：

2G051AA56 ,  2G051AB02 ,  2G051AC21 ,  2G051CA03 ,  2G051DA07 ,  2G051EA08 ,  2G051EA12 ,  2G051EB09 ,  2G051FA01 ,  2H095BB01 ,  2H095BB07 ,  2H097AA03 ,  2H097AA20 ,  2H097BA10 ,  2H097BB10 ,  2H097CA16 ,  2H097LA10 ,  5B046AA08 ,  5B046BA05 ,  5B046FA02 ,  5B046FA06 ,  5B046GA06 ,  5B046JA02 ,  5B046KA08 ,  5B057AA03 ,  5B057CA12 ,  5B057CB12 ,  5B057CC04 ,  5B057CE08 ,  5B057DA03 ,  5B057DA07 ,  5B057DC33 ,  5F046AA28 ,  5F046CB17

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 描画用マスクパタンデータ生成方法とその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-001564   出願人：ソニー株式会社