特許
J-GLOBAL ID：200903088852822228
超小型走査電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
蛭川 昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-029302
公開番号（公開出願番号）：特開平8-222161
出願日： 1995年02月17日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 表面分析装置等に組み込める構造にした超小型走査電子顕微鏡を提供する。【構成】 電子銃ユニット10に電子銃室内を外部雰囲気と連通させる孔を設け、電子銃室の排気を表面分析装置等の排気手段により行い得るようにし、また、低加速電界放射電子銃ユニットの全ての電極を碍子上に組み立て、偏向器70,71を静電型とし、磁界型レンズ40,90のコイルをアルミナ等の被覆線材とすることにより、超小型、超高真空対応とする。
請求項（抜粋）：
フランジに取り付けられ、真空下の表面分析/観察装置内に組み込まれる超小型走査電子顕微鏡であって、電子銃ユニットに電子銃室内を外部雰囲気と連通させる孔を設け、電子銃室の排気を前記表面分析/観察装置の排気手段により行い得るようにしたことを特徴とする超小型走査電子顕微鏡。
IPC (3件)：
H01J 37/06
, H01J 37/141
, H01J 37/147
H01J 37/06 A
, H01J 37/141 Z
, H01J 37/147 A
