特許
J-GLOBAL ID：200903088857903056
走査電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 友二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-070055
公開番号（公開出願番号）：特開平5-234552
出願日： 1992年02月21日
公開日（公表日）： 1993年09月10日
要約：
【要約】【目的】 試料の乾燥とチャージアップとを防止し、生物試料の観察に適した走査電子顕微鏡を得ることを目的とする。【構成】 走査電子顕微鏡の電子ビームの通路中に(少なくとも対物レンズと観察試料との間に)薄膜を張って上記電子ビームの通路を仕切り観察中も観察試料近傍を1気圧付近に保持する手段を備えた。
請求項（抜粋）：
走査電子顕微鏡の電子ビームの通路中に(少なくとも対物レンズと観察試料との間に)薄膜を張って上記電子ビームの通路を仕切り観察中も観察試料近傍を1気圧付近に保持する手段を備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡。
IPC (3件)：
H01J 37/18
, H01J 37/20
, H01J 37/28
