特許

J-GLOBAL ID：200903088863490197

温度制御シミュレーション方法および温度制御シミュレーション装置

発明者： 田中 和夫 ,  山口 英人 ,  占部 健三
出願人/特許権者： 株式会社日立国際電気
代理人 (1件)： 石戸 久子 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-158257
公開番号（公開出願番号）：特開2002-124481
出願日： 1998年08月13日
公開日（公表日）： 2002年04月26日
要約：

【要約】【課題】 電気炉・ガス炉・蒸気炉などのプロセス装置において、実際の炉の温度変化と同等の応答を示す温度系シミュレーションモデルを計算機上に作成することで実際の炉を使用せずとも、温度制御アルゴリズムの開発、及び温度制御操作方法の習得ができる温度制御シミュレーション方法及び温度制御シミュレーション装置を提供する。【解決手段】 ヒータ入力に対する温度出力の関係を表す伝達関数を求め、この伝達関数を温度系模擬装置の有する伝達関数として、加熱炉の温度制御シミュレーションを行うようにした。

請求項（抜粋）：

半導体製造装置の加熱炉において、ヒータ入力に対する炉内温度出力の関係を表す伝達関数を、温度系模擬装置として使用することにより、前記加熱炉の温度制御シミュレーションを行う温度制御シミュレーション方法。

IPC (5件)：

H01L 21/22 ,  F27D 19/00 ,  G05B 17/02 ,  G06F 17/13 ,  H01L 21/205

FI (5件)：

H01L 21/22 Z ,  F27D 19/00 A ,  G05B 17/02 ,  G06F 17/13 ,  H01L 21/205

Fターム (31件)：

4K056AA09 ,  4K056BA01 ,  4K056BB06 ,  4K056CA18 ,  4K056FA04 ,  4K056FA13 ,  5B056AA04 ,  5B056BB66 ,  5F045BB10 ,  5F045EK06 ,  5F045EK22 ,  5F045EK27 ,  5F045GB05 ,  5F045GB17 ,  5H004GA30 ,  5H004GA40 ,  5H004GB15 ,  5H004HA01 ,  5H004HB01 ,  5H004JA22 ,  5H004JB08 ,  5H004KA71 ,  5H004KB02 ,  5H004KB04 ,  5H004KB06 ,  5H004KB19 ,  5H004KB39 ,  5H004KC28 ,  5H004LA03 ,  5H004LA15 ,  5H004LA18