特許
J-GLOBAL ID：200903088863559480
圧力勾配型プラズマガンによるプラズマ放電方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-249340
公開番号（公開出願番号）：特開平5-086468
出願日： 1991年09月27日
公開日（公表日）： 1993年04月06日
要約：
【要約】【目的】 効率よく、常に安定なプラズマを発生させ、基板に均質な成膜を形成することができる圧力勾配型プラズマガンによるプラズマ放電方法を提供することを目的とする。【構成】 圧力勾配型プラズマガンによる放電中のプラズマ電流を検出し、この検出プラズマ電流値と設定プラズマ電流値とを比較し、その偏差に基づき定常放電用電源の電流を制御することにより、プラズマ電流を一定に維持するものである。
請求項（抜粋）：
圧力勾配型プラズマガンによる放電中のプラズマ電流を検出し、この検出プラズマ電流値と設定プラズマ電流値とを比較し、その偏差に基づき定常放電用電源の電流を制御することを特徴とする圧力勾配型プラズマガンによるプラズマ放電方法。
IPC (4件)：
C23C 14/52
, C23C 14/32
, C23C 16/50
, C23C 16/52
