特許

J-GLOBAL ID：200903088866624887

オゾン発生装置

発明者： 新荘 良一 ,  神谷 一郎 ,  原田 稔 ,  西岡 由紀子
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-162629
公開番号（公開出願番号）：特開平6-072702
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1994年03月15日
要約：

【要約】【目的】 高純度酸素ガスを用いて、経時的濃度低下を起こすことなく安定して高濃度にオゾンガスを発生する放電方式のオゾン発生装置を提供すること。【構成】 オゾン発生装置の放電体の放電部の気体の圧力を大気圧に対して少なくとも1.1kgf/cm2 以上高くするあるいは/および放電体を液冷却方式とし、該冷却液の液温を15°C以上としたオゾン発生装置を提供する。ここで、上記オゾン発生装置の放電体の構造として、誘電体を挟む電極の一方は誘電体側の面に複数の土手状突起が設けてあり、該突起の先端は誘電体に接するかあるいは極めて接近するようにした構造とし、突起間の凹部と前記誘電体との間に形成されるトンネル状空間を原料および生成物が通過し、またこの空間で放電が行われる構造とすることが好ましい。

請求項（抜粋）：

原料ガスに純度99.99%以上の高純度酸素ガスを使用する放電方式のオゾン発生装置において、該オゾン発生装置の放電体の放電部の気体の圧力を大気圧に対して少なくとも1.1kgf/cm2 以上高くしたことを特徴とするオゾン発生装置。

IPC (2件)：

C01B 13/11 ,  H01T 23/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭51-110494
  
• 特開昭55-003334
  
• 特開昭63-137748
  
• 特開平4-325404