特許

J-GLOBAL ID：200903088877618730

測定図形データに基準図形を重ね合わせる方法

発明者： 富川 義弘 ,  中山 謙二
出願人/特許権者： ワイケイケイ株式会社
代理人 (1件)： 米原 正章 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-327754
公開番号（公開出願番号）：特開平7-181140
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：

【要約】【目的】 部分的な異常データのある測定図形データに基準図形を正しく変形して重ね合わせができるようにする。【構成】 測定図形データと基本図形により近似図形を作成し、この近似図形と測定データとの誤差により重みをつけて変形パラメータを算出し、この変形パラメータにより近似図形を変形した後に、その変形した近似図形と誤差により重みをつけて変形パラメータを算出する操作を複数回繰り返しすることで部分的異常を無視して基準図形を正しく変形して測定図形データに重ね合わせる。

請求項（抜粋）：

物体をカメラで撮影し、その画像信号を2値化することによって得られるデータを測定図形データとし、予め関数または点列として定義されている図形を基準図形とし、前記測定図形データに前記基準図形を変形して重ね合わせる方法において、まず、測定図形データに基づいて、一様な重みにて最小自乗法により基準データを測定図形データに重ね合わせる為の変形パラメーターを作成し、そのパラメーターに基づいて近似図形を作成する。次に、前記測定図形データと前記近似図形の誤差を求め、その誤差の大きさに応じて単調に減少するゼロ以上の連続関数により重みを決定し、新たなる近似データと前記測定図形データの差の自乗量に前記重みを掛け合わせた値を最小にする様に、最小自乗法により変形パラメータを算出し、その変形パラメータによって、基準図形を変形して測定図形データに重ね合わせることを特徴とする測定図形データに基準図形を重ね合わせる方法。

IPC (5件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/24 ,  G06T 7/00 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

G06F 15/62 400 ,  G06F 15/70 460 F