特許

J-GLOBAL ID：200903088882133036

露光装置、光ディスク原盤露光装置及び半導体露光装置

発明者： 武田 実
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-243095
公開番号（公開出願番号）：特開平7-106219
出願日： 1993年09月29日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：

【要約】【目的】 簡単な光学系で露光及びモニタ用の光学系の共用化を行って高精度なオートフォーカス動作を行うことができる露光装置、特に例えば光ディスク原盤露光装置及び半導体露光装置の提供を目的とする。【構成】 紫外レーザ光源出射部10からダイオードレーザ励起による固体レーザの第2の共振器で波長変換されたレーザ光を取り出すと共に、第1の共振器からのレーザ光を同時に出射させてフォーカス検出制御系11でフォーカスの位置ずれ量を検出し、この検出量に応じて露光系12の電磁アクチュエータ12D、12Eを駆動制御して対物レンズ12aが微動させ、対物レンズ12aとウェハ12C’間の焦点距離を調整する。

請求項（抜粋）：

露光光源からの光で露光パターンを露光対象物に転写する露光装置において、ダイオードレーザ励起により発光されるレーザ光を第1の共振器内部で波長変換して取り出すと共に、上記第1の共振器からの出射光を外部共振形の第2の共振器で波長変換された光を同時に取り出す光源手段と、該光源手段の上記第1の共振器からの出射光が上記露光対象物表面から戻る反射光に応じてレンズと露光対象物間に対するフォーカスの位置ずれ量を検出して制御する検出制御手段とを有してフォーカス制御することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G11B 7/26 501

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-298839
  
• 特開昭63-298839