特許
J-GLOBAL ID:200903088886723903
収納容器
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
藤本 英介
, 神田 正義
, 宮尾 明茂
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-051367
公開番号(公開出願番号):特開2004-260087
出願日: 2003年02月27日
公開日(公表日): 2004年09月16日
要約:
【課題】構造の複雑化や容積の増大を抑制防止し、しかも、容器本体のデザインを特に変更する必要のない収納容器を提供する。【解決手段】複数枚の半導体ウェーハを所定の間隔をおいて上下方向に整列収納する容器本体1に、半導体ウェーハに対する汚染物質を吸収する吸収体10を着脱自在に収納する。そして、吸収体10を、一対のティース3に支持される通気性のケース11と、このケース11に内蔵されて半導体ウェーハに作用する汚染物質を吸収する多数の吸収剤とから構成する。容器本体1の構造を変更しないので、容器本体1の構造が複雑化したり、ポケット確保のため、収納容器の容積が増大するという問題を解消できる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
容器本体に被収納体を収納する収納容器であって、容器本体に収納されて被収納体に対する汚染物質を吸収する吸収体を備えてなることを特徴とする収納容器。
IPC (3件):
H01L21/68
, B65D81/26
, B65D85/86
FI (3件):
H01L21/68 T
, B65D81/26 M
, B65D85/38 R
Fターム (36件):
3E067AA13
, 3E067AB94
, 3E067AC03
, 3E067BA05A
, 3E067BB14A
, 3E067EC03
, 3E067EE25
, 3E067EE29
, 3E067GB02
, 3E067GB03
, 3E067GB20
, 3E096AA06
, 3E096BA16
, 3E096BA20
, 3E096BB04
, 3E096CA08
, 3E096CA09
, 3E096CB03
, 3E096CC02
, 3E096DA26
, 3E096DB06
, 3E096DC02
, 3E096EA02X
, 3E096FA02
, 3E096FA22
, 3E096GA13
, 5F031CA02
, 5F031DA08
, 5F031DA09
, 5F031EA02
, 5F031EA03
, 5F031EA14
, 5F031NA02
, 5F031PA21
, 5F031PA23
, 5F031PA26
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