特許

J-GLOBAL ID：200903088887244553

レチクル取り出し収納装置及びレチクル取り出し収納方法

発明者： 井桁 高広
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 開口 宗昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-127116
公開番号（公開出願番号）：特開2000-323378
出願日： 1999年05月07日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 構造が簡単であり,作業性が良く,レチクルのサイズ及び厚さが異なっていても同一の装置で対応できるレチクル取り出し収納装置及びレチクル取り出し収納方法を提供する。【解決手段】 一対の搬送ハンド3と,それぞれの搬送ハンドに設けられて相互に対向する爪4と,各搬送ハンドに一端が取り付けられた一対の搬送ハンド受け軸9と,各搬送ハンド受け軸を保持すると共に搬送ハンド受け軸の軸方向と直交する方向に移動可能にされた搬送ハンド受け軸保持部材と,を有して成ることによる。

請求項（抜粋）：

一対の搬送ハンドと,それぞれの搬送ハンドに設けられて相互に対向する爪と,各搬送ハンドに一端が取り付けられた一対の搬送ハンド受け軸と,各搬送ハンド受け軸を保持すると共に搬送ハンド受け軸の軸方向と直交する方向に移動可能にされた搬送ハンド受け軸保持部材と,を有して成ることを特徴とするレチクル取り出し収納装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/30 503 E ,  H01L 21/68 S ,  H01L 21/30 502 J

Fターム (14件)：

5F031CA07 ,  5F031DA01 ,  5F031FA04 ,  5F031FA11 ,  5F031GA10 ,  5F031GA15 ,  5F031GA25 ,  5F031GA26 ,  5F031GA43 ,  5F031GA49 ,  5F046AA21 ,  5F046CD02 ,  5F046CD04 ,  5F046CD10

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-290917
  
• 特開昭63-124543
  
• 特開平3-290917
  
• 特開昭63-124543