特許
J-GLOBAL ID:200903088896698419
液晶表示装置の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
小池 隆彌
, 田畑 昌男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-425069
公開番号(公開出願番号):特開2004-171002
出願日: 2003年12月22日
公開日(公表日): 2004年06月17日
要約:
【課題】良好な反射特性を有する反射板を容易にかつ再現性よく作製することができるような表示品位の高い液晶表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】基板上にポジ型の感光性樹脂9を3μmの厚さで塗布し(a)、感光性樹脂9の第1領域を第1フォトマスク19を用い40mj露光することで表面に凹凸を形成しb、感光性樹脂9の第2領域に第2フォトマスク20を用い第1領域よりも露光量の積分値が多くなるように240mjで露光することで第1領域よりも残膜量の少ない凹部を形成する(c)。【選択図】図3
請求項(抜粋):
液晶層を介在して対向配置される一対の基板のうち一方の基板上に、他方の基板側からの入射光を反射する反射手段を有し、画素電極が反射領域と透過領域とを備える液晶表示装置の製造方法であって、
前記一方の基板上にポジ型の感光性樹脂を塗布する工程と、
第1領域の感光性樹脂に、円形もしくは多角形の領域の総面積が前記反射手段の総面積の20%以上40%以下であるフォトマスクを用いて露光し、
第2領域の感光性樹脂に、前記第1領域の感光性樹脂が受ける露光量の積分値よりも感光性樹脂が受ける露光量の積分値が多くなるように露光する工程と、
前記第1領域の感光性樹脂を現像して、該第1領域の感光性樹脂の表面に凹凸を形成し、
前記第2領域の感光性樹脂を現像して、該第2領域に前記第1領域よりも感光性樹脂の残膜量の少ない凹部を形成する工程と、
現像後の感光性樹脂を加熱処理する工程と、
加熱処理後の感光性樹脂上に反射膜を形成する工程と、を含む液晶表示装置の製造方法。
IPC (2件):
FI (2件):
G02F1/1335 520
, G02B5/02 B
Fターム (19件):
2H042AA02
, 2H042AA25
, 2H042BA04
, 2H042BA08
, 2H042BA12
, 2H042BA15
, 2H042BA20
, 2H042DA02
, 2H042DA12
, 2H042DA14
, 2H091FA16Y
, 2H091FB04
, 2H091FC23
, 2H091FC29
, 2H091GA02
, 2H091GA07
, 2H091LA16
, 2H091LA17
, 2H091LA20
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