特許

J-GLOBAL ID：200903088901906696

圧力センサ装置

発明者： 西村 悦夫
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-001956
公開番号（公開出願番号）：特開平10-197375
出願日： 1997年01月09日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：

【要約】【課題】 過大な被測定物の圧力が作用しないので圧力センシング素子の耐圧強度を必要以上に高くすることなく、そのため圧力分解能が高い圧力センサを用いることができ、圧力センサと圧力導入路との接続部分の密閉を必要以上に強固にすることのない圧力センサ装置を得ることが課題である。【解決手段】 圧力導入路10は、内部にフリーピストン11が前進停止位置と後退停止位置との間を摺動往復移動可能に収納されたシリンダ部10aと、測定圧力空間1eとシリンダ部10aの前進停止位置側とを連通するように設けられた連通部10bと、外部とシリンダ部10aの後退停止位置側とを連通するように設けられた圧力導入部10cとを有し、フリーピストン11と圧力センシング素子1bとの間のシリンダ部10a、連通部10bおよび測定圧力空間1e内には圧力伝達媒体13が封入されている。

請求項（抜粋）：

流体または気体の圧力を電気信号に変換する圧力センシング素子が基準圧力空間と測定圧力空間とに区画するように容器内に配設され、外部と該測定圧力空間とを連通する圧力導入路が設けられてなる圧力センサ装置において、上記圧力導入路は、内部にフリーピストンが圧力センシング素子側の前進停止位置と反圧力センシング素子側の後退停止位置との間を摺動往復移動可能に収納されたシリンダ部と、上記測定圧力空間と上記シリンダ部の前進停止位置側とを連通するように設けられた連通部と、外部と上記シリンダ部の後退停止位置側とを連通するように設けられた圧力導入部とを有し、上記フリーピストンと上記圧力センシング素子との間の上記シリンダ部、上記連通部および上記測定圧力空間内には圧力伝達媒体が封入されていることを特徴とする圧力センサ装置。