特許
J-GLOBAL ID:200903088907826317

銅膜被覆基体

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 谷川 昌夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-084299
公開番号(公開出願番号):特開平5-287506
出願日: 1992年04月07日
公開日(公表日): 1993年11月02日
要約:
【要約】【目的】 耐食性に富む銅膜で被覆された銅膜被覆基体を提供する。【構成】 銅膜被覆基体であって、該銅膜の結晶配向(111)面のX線回折強度が単位膜厚当り2.0〔cps/nm〕以上の銅膜被覆基体。
請求項(抜粋):
銅膜被覆基体であって、該銅膜の結晶配向(111)面のX線回折強度が単位膜厚当り2.0〔cps/nm〕以上の銅膜被覆基体。
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開昭64-075663
  • 特開昭64-075663

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