特許
J-GLOBAL ID:200903088919861142

振動型ジャイロスコープ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 武 顕次郎 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-052145
公開番号(公開出願番号):特開平11-248462
出願日: 1998年03月04日
公開日(公表日): 1999年09月17日
要約:
【要約】【課題】 振動が伝わり難く、圧電基板の歩留まりがよい振動型ジャイロスコープを提供する。【解決手段】 駆動用や検出用の電極が形成され、先端部が自由端となった片持ち状態で振動する振動腕12a...を有する振動子1と、振動子1の基端部1Aを支持する支持部材4と、支持部材4が取り付けられる回路基板6と、配線パターンが形成され、振動子側端部5a,5b、回路基板側端部5c及び配線部5dとを備えたフレキシブル配線基板5と、振動子側端部5a,5bに設けられ、配線パターンと導通し、基端部1Aで対応する電極と半田により電気的に接続される第1の接続部と、回路基板側端部5cに設けられ、配線パターンと導通し、回路基板側端部5cで回路基板6と電気的に接続される第2の接続部とを備え、電極の内、同一面に存在しかつ分極時及び使用時にともに同電位となる電極は基端部1Aで一つにまとめられている。
請求項(抜粋):
表裏両面に駆動用や検出用の電極が形成され、先端部が自由端となった片持ち状態で振動する振動腕を有する振動子と、前記振動子の基端部を支持する支持部材と、前記支持部材が取り付けられる回路基板と、配線パターンが形成され、少なくとも振動子側端部、回路基板側端部及び前記振動子側端部と回路基板側端部間に位置する配線部とを備えたフレキシブル配線基板と、前記フレキシブル配線基板の振動子側端部に設けられ、前記配線パターンと導通し、前記振動子の基端部で対応する前記電極と半田により電気的に接続される第1の接続部と、前記フレキシブル配線基板の回路基板側端部に設けられ、前記配線パターンと導通し、前記回路基板側端部で前記回路基板と電気的に接続される第2の接続部とを備え、前記振動子の電極の内、同一面に存在しかつ分極時及び使用時にともに同電位となる電極は前記振動子の基端部で一つにまとめられていることを特徴とする振動型ジャイロスコープ。
IPC (3件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/09
FI (3件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 C

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