特許
J-GLOBAL ID：200903088922143021
窒化物単結晶の製造方法およびその製造装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (4件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 渡邊 隆
, 青山 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-078418
公開番号（公開出願番号）：特開2004-284869
出願日： 2003年03月20日
公開日（公表日）： 2004年10月14日
要約：
【課題】昇華法により窒化物単結晶を製造する際に、得られる単結晶に欠陥がなく、良質で、大口径の単結晶が効率よく製造できるようにすることにある。【解決手段】昇華法によりサセプター8上の種結晶7上に窒化物単結晶を成長させる製造において、サセプター8の種結晶7を貼り付ける面を、水平面に対して0.1〜2.0度傾斜させる。また、種結晶7の成長面を結晶学的方位から水平面に対して0.1〜0.8度傾斜させることが好ましい。さらに、雰囲気ガスの排出口6をサセプターの傾斜方向に設け、昇華ガスの流れFをサセプター8の表面の傾斜にほぼ一致させることも好ましい。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
昇華法によりサセプター上の種結晶上に窒化物単結晶を成長させる製造方法において、サセプターの種結晶を貼り付ける面を、水平面に対して0.1〜2.0度傾斜させることを特徴とする窒化物単結晶の製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (12件)：
4G077AA02
, 4G077BE11
, 4G077BE13
, 4G077BE15
, 4G077DA02
, 4G077DA18
, 4G077ED05
, 4G077EG03
, 4G077EG21
, 4G077SA01
, 4G077SA04
, 4G077SA12
出願人引用 (1件)
-
炭化珪素単結晶の製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-214497
出願人：株式会社豊田中央研究所, 株式会社デンソー
審査官引用 (1件)
-
炭化珪素単結晶の製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-214497
出願人：株式会社豊田中央研究所, 株式会社デンソー
前のページに戻る
