感放射線性樹脂組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大島正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-136075
公開番号（公開出願番号）：特開平9-319092
出願日： 1996年05月30日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】放射線に有効に感応し、解像度、パターン形状、PED安定性が良好で、化学増幅型ポジ型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】下記式(1)、(2)で示される繰返し単位からなる共重合体および感放射線性発生剤を含む感放射線性樹脂組成物。ここで、R1は水素原子またはメチル基を示す、ここで、R2は水素原子あるいはメチル基、R3およびR4は互いに独立に水素原子または炭素数1〜5のアルキル基、R5は炭素数1〜6のアルキレン基または炭素数2〜6のアルキリデン基、R6は炭素数1〜10の鎖状アルキル基、炭素数3〜10の環状アルキル基、炭素数6〜10のアリール基、炭素数7〜11のアラルキル基または炭素数1〜10のハロゲン化アルキル基を示し、nは1〜5の数である、

請求項（抜粋）：

(A)下記式(1)で表される繰返し単位と下記式(2)で表される繰返し単位を含有する共重合体、【化1】ここで、R1は水素原子またはメチル基を示す、【化2】ここで、R2は水素原子あるいはメチル基を示し、R3およびR4は互いに独立に水素原子または炭素数1〜5のアルキル基を示し、R5は炭素数1〜6のアルキレン基または炭素数2〜6のアルキリデン基を示し、R6は炭素数1〜10の鎖状アルキル基、炭素数3〜10の環状アルキル基、炭素数6〜10のアリール基、炭素数7〜11のアラルキル基または炭素数1〜10のハロゲン化アルキル基を示し、nは1〜5の数である、および(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/033 , H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/033 , H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (1件)

感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-354297 出願人：日本合成ゴム株式会社

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