シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボおよびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：穂上照忠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-272633
公開番号（公開出願番号）：特開平11-116388
出願日： 1997年10月06日
公開日（公表日）： 1999年04月27日
要約：

【要約】【課題】シリコン単結晶引上げ法に使用する石英ガラスルツボであって、製品単結晶シリコンの品質に悪影響を及ぼす気泡の含有率の低いルツボおよびその製造方法を提供する。【解決手段】下記(1) の石英ガラスルツボ、および(2) のその製造方法。(1) 気泡含有率の高い内側表面層が除去されており、底部内側表面層の気泡体積率が 0.001%以下である石英ガラスルツボ。(2) 中心軸のまわりに回転する中空型内に石英粉末を供給して中空型内壁を石英粉末の層で覆い、この石英粉末層中に存在するガスを中空型に接する面の側から吸引しながら他方の開放面側より加熱することによって石英粉末を溶融または半溶融状態としてルツボ中間体を製造した後、この中間体の内側表面層を石英ガラスの蒸発温度以上に加熱して除去する。

請求項（抜粋）：

気泡含有率の高い内側表面層が除去されており、底部内側表面層の気泡体積率が 0.001%以下であることを特徴とするシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ。

IPC (2件)：

C30B 29/06 502 , C30B 15/10

FI (2件)：

C30B 29/06 502 B , C30B 15/10

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