特許

J-GLOBAL ID：200903088936163068

顕微鏡装置

発明者： 南園 孝一
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 野田 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-183714
公開番号（公開出願番号）：特開2003-005087
出願日： 2001年06月18日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
要約：

【要約】【課題】 固体撮像素子において欠陥を生じた受光部を容易に拡大して観察することができる顕微鏡装置を提供する。【解決手段】 顕微鏡20は、ステージ24が取着されており、該ステージ24上に載置されている固体撮像素子10の受光面1004の部分を拡大して撮像する。ステージ24は、互いに直交する第1方向および第2方向に直線移動可能に構成されている。制御手段32は、入力手段30から入力された識別情報に対応する受光部1008の間隔Pを記憶手段28から読み出すとともに、入力手段30から入力されたアドレスと、間隔Pとに基づいてステージ24の移動量を算出する。制御手段32は、算出された移動量に基づいてステージ移動手段26を制御してステージ24を移動量分だけ移動させる。これにより、入力されたアドレスに対応する受光部1008の部分が顕微鏡20によって撮像される。

請求項（抜粋）：

互いに直交するX方向とY方向に沿って正方格子状に等間隔で配列された受光部を有し前記受光部のそれぞれにはX方向の座標値とY方向の座標値からなるアドレスが割り当てられた固体撮像素子を観察する顕微鏡装置であって、前記固体撮像素子が載置され互いに直交する第1方向および第2方向に移動可能に構成されたステージと、前記ステージを第1方向および第2方向に移動させるステージ移動手段と、前記ステージ上に載置された前記固体撮像素子の受光部の部分を撮像して拡大表示する顕微鏡と、前記アドレスが入力されると、入力されたアドレスに対応する前記受光部の部分が前記顕微鏡で表示されるように前記ステージ移動手段を制御して前記ステージを移動させる制御手段と、を備えることを特徴とする顕微鏡装置。

IPC (5件)：

G02B 21/26 ,  G01R 31/302 ,  H01L 21/66 ,  H01L 27/14 ,  H04N 17/00

FI (5件)：

G02B 21/26 ,  H01L 21/66 J ,  H04N 17/00 K ,  H01L 27/14 Z ,  G01R 31/28 L

Fターム (25件)：

2G132AA00 ,  2G132AE01 ,  2G132AF07 ,  2G132AF11 ,  2G132AF14 ,  2G132AL11 ,  2H052AD15 ,  2H052AD19 ,  2H052AF14 ,  2H052AF21 ,  4M106AA02 ,  4M106AB07 ,  4M106BA10 ,  4M106CA38 ,  4M106DB18 ,  4M106DJ07 ,  4M106DJ23 ,  4M106DJ33 ,  4M118AA09 ,  4M118AB01 ,  4M118CA01 ,  4M118FA06 ,  4M118FB09 ,  5C061BB01 ,  5C061CC09