特許

J-GLOBAL ID：200903088938016070

マスク保護装置の収納ケース

発明者： 近藤 正浩 ,  津本 高政 ,  藤田 稔
出願人/特許権者： 三井化学株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 晃一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-273138
公開番号（公開出願番号）：特開2003-107679
出願日： 1994年08月26日
公開日（公表日）： 2003年04月09日
要約：

【要約】【課 題】枠と、枠の一側面に張設される薄膜と、枠の他側端面に接着される粘着テープとよりなり、マスクに異物等が付着するのを防止する目的でマスクに接着されるマスク保護装置において、マスクに接着したとき、接着材層とマスクとの間に空気が流通するエアパスが形成されないようにする。【解決手段】マスク保護装置3が装着される台12を備えた樹脂製のケース本体11と、該本体11に被せられる樹脂製の上蓋よりなる収納ケースにおいて、マスク保護装置3が装着される台12の周縁をリブ13構造とし、台12の変形を防ぐ。

請求項（抜粋）：

枠と、枠一側面に張設される薄膜と、枠の他側端面に接着される粘着材とよりなるマスク保護装置が装着される台を備えた樹脂製のケース本体と、該本体に被せられる樹脂製の上蓋と、上蓋をケース本体に止めるクリップとよりなるマスク保護装置の収納ケースにおいて、上記台の周縁をリブ構造としたことを特徴とするマスク保護装置。

IPC (2件)：

G03F 1/14 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 1/14 M ,  H01L 21/30 503 E

Fターム (2件)：

2H095BE12 ,  5F046AA21

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 基板保持用ケース
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-229382   出願人：大日本印刷株式会社
• 特開昭63-305359
  
• 特開平3-293355
  

審査官引用 (4件)

• 基板保持用ケース
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-229382   出願人：大日本印刷株式会社
• 特開昭63-305359
  
• 特開平3-293355
  
• 特開昭63-305359