特許
J-GLOBAL ID：200903088944880011
走査ユニット
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-076783
公開番号（公開出願番号）：特開平6-289309
出願日： 1993年04月02日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：
【要約】【目的】不要な干渉を生じない走査型光学顕微鏡用の走査ユニットを提供する。【構成】共振型ガルバノスキャナー18は直方体形状のハウジング48の内部に収容されている。ハウジング48は、隣接した二つの面に円形の開口48Aと48Bをそれぞれ有し、開口48Aには平板状のガラスからなる防塵ガラス50が取り付けられている。また開口48Bを設けた面には別のハウジング54が取り付けられている。このハウジング54は、開口48Bに対向した面に円形の開口54Aが設けてあり、この開口54Aには瞳伝送レンズ20が取り付けられている。
請求項（抜粋）：
走査型光学顕微鏡に用いる走査ユニットであり、光ビームを偏向する光偏向素子と、光偏向素子を収容するハウジングであって、光偏向素子に光ビームを入射させるための入射開口と、偏向された光ビームを射出するための射出開口とを有しているハウジングと、入射開口に設けられた光学的に透明な平板状の防塵部材と、射出開口に設けられた偏向された光ビームを集光する集光光学素子とを備えている走査ユニット。
IPC (2件)：
引用特許：
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