特許
J-GLOBAL ID：200903088947038869
ペリクル
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
高田 守
, 高橋 英樹
, 大阿久 敦子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-087396
公開番号（公開出願番号）：特開2004-294786
出願日： 2003年03月27日
公開日（公表日）： 2004年10月21日
要約：
【課題】ペリクル内の空気を効率的に置換することのできるペリクルを提供する。【解決手段】ペリクル膜2と、ペリクル膜2を支持する矩形状のペリクル枠3とを有し、ペリクル枠3の1の側面6およびこの1の側面6に対向する他の側面7には、開孔面積率が1の側面または他の側面に対して50%〜90%である通気孔8,9がそれぞれ設けられている。通気孔8,9には、防塵用フィルタおよびケミカルフィルタが設けられていることが好ましい。また、ペリクル枠3の四隅には補強板15,16,17,18が設けられていることが好ましい。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ペリクル膜と、
前記ペリクル膜を支持する矩形状のペリクル枠とを有し、
前記ペリクル枠の1の側面および該1の側面に対向する他の側面には、開孔面積率が前記1の側面または前記他の側面に対して50%〜90%である通気孔がそれぞれ設けられていることを特徴とするペリクル。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F1/14 K
, H01L21/30 502P
