特許
J-GLOBAL ID：200903088951841048
角速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-082317
公開番号（公開出願番号）：特開平9-273933
出願日： 1996年04月04日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：
【要約】【課題】 カーナビゲーションや車姿勢制御用などに用いる角速度センサにおいて、小型化、低価格化、高性能化、一括工法化を実現することを目的とする。【解決手段】 検出電極4を介して背中合わせに接合され、一方の振動腕2a,3aに駆動電極5,6,10,11が設けられ、他方の振動腕2b,3bにモニタ電極8,12が設けられた圧電体よりなる音叉振動体Iと、この音叉振動体Iの音叉基部における音叉振動の幅方向または厚み方向のいずれか一方の不動面に対して設けた支持部材9とを有する角速度センサであって、前記音叉振動体Iの中央の対称面に対して対称に配置された1対の振動腕2c,3c,2d,3dを有し、上記音叉振動体Iに与えられるコリオリ力によるトーション振動を相殺するキャンセル振動体IIを備えた。
請求項（抜粋）：
検出電極を介して背中合わせに接合され、一方の振動腕に駆動電極が設けられ、他方の振動腕にモニタ電極が設けられた圧電体よりなる音叉振動体と、この音叉振動体の音叉基部における音叉振動の幅方向または厚み方向のいずれか一方の不動面に対して設けた支持部材とを有する角速度センサであって、前記音叉振動体の中央の対称面に対して対称に配置された1対の振動腕を有し、上記音叉振動体に与えられるコリオリ力によるトーション振動を相殺するキャンセル振動体を備えた角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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