特許

J-GLOBAL ID：200903088954786900

コマ収差測定装置および該装置を備えた投影露光装置

発明者： 長山 匡
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-114160
公開番号（公開出願番号）：特開平11-297614
出願日： 1998年04月09日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：

【要約】【課題】 簡素な機構により被検光学系の残存コマ収差を精度良く計測する。【解決手段】 並列的に配置された複数のパターンを有するパターン群の空間像とナイフエッジパターンとを計測方向に沿って相対移動させて、パターン群を形成する各パターンの空間像の強度分布の合成からなる合成空間像強度分布を検出する。そして、得られた合成空間像強度分布に基づいて被検光学系の残存コマ収差量を検出する。

請求項（抜粋）：

被検光学系の残存コマ収差量を計測するためのコマ収差測定装置において、前記被検光学系の結像面に位置決めされ、計測方向と交差する方向に沿ったエッジラインを有するナイフエッジパターンが形成された計測部材と、前記計測方向に沿って並列的に配置された複数のパターンを有するパターン群が形成された基準部材が前記被検光学系の物体面に設定されることにより、前記被検光学系の結像面に形成される前記パターン群の空間像からの光を前記ナイフエッジパターンを介して検出するための光電検出手段と、前記被検光学系の結像面に形成される前記パターン群の空間像と前記ナイフエッジパターンとを前記計測方向に沿って相対移動させるための相対移動手段と、前記相対移動手段により前記パターン群の空間像と前記ナイフエッジパターンとを相対移動させたときの前記光電検出手段からの光量変化情報に基づいて、前記パターン群の空間像の強度分布として、前記パターン群を形成する各パターンの空間像の強度分布の合成からなる合成空間像強度分布を検出するための強度分布検出手段と、前記強度分布検出手段において得られた合成空間像強度分布に基づいて前記被検光学系の残存コマ収差量を検出するための処理系とを備えていることを特徴とするコマ収差測定装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 515 D ,  G03F 7/20 521