特許

J-GLOBAL ID：200903088955047729

導波路型光回路及びその製造方法

発明者： 蛭田 昭浩
出願人/特許権者： 日立電線株式会社
代理人 (1件)： 絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-268829
公開番号（公開出願番号）：特開2001-091772
出願日： 1999年09月22日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】 光ファイバとの接続損失を大きく低減できる導波路型光回路及びその製造方法を提供する。【解決手段】 基板上に光ファイバのコアと接続される入出力部2,3を有するコア4とそのコア4を覆うクラッドとからなる光導波路10を有する導波路型光回路とその製造方法において、上記基板上に第1のコア膜を堆積した後、その第1のコア膜を導波路パターンに形成し、入出力部2,3とする部分が残るようにその導波路パターンを複数回エッチングして階段状の階段部を形成し、その階段部を覆うように第2のコア膜を堆積した後、上記導波路パターンになるように第2のコア膜をエッチングすることにより上記入出力部2,3のコア4にテーパ部4hを形成する。

請求項（抜粋）：

基板上に光ファイバのコアと接続される入出力部を有するコアと該コアを覆うクラッドとからなる光導波路が形成された光伝送モジュール用導波路型光回路において、上記コアの入出力部を、幅方向、高さ方向共に入出力部端面に向かって広くなるテーパ状に形成したことを特徴とする導波路型光回路。

IPC (3件)：

G02B 6/122 ,  G02B 6/13 ,  G02B 6/30

FI (3件)：

G02B 6/30 ,  G02B 6/12 A ,  G02B 6/12 M

Fターム (9件)：

2H037AA01 ,  2H037BA24 ,  2H037CA34 ,  2H047KA04 ,  2H047KA13 ,  2H047KA15 ,  2H047PA21 ,  2H047PA24 ,  2H047TA31