特許
J-GLOBAL ID：200903088956730341
基板のクリーニング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-135544
公開番号（公開出願番号）：特開平8-008515
出願日： 1994年06月17日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：
【要約】【目的】 電子部品が半田付けされる基板のクリーニング装置を提供することを目的とする。【構成】 ケース1の内部に基板3の載置部2を設け、またケース1の内部を真空吸引するポンプ6を設ける。真空紫外線ランプ5により基板3に真空紫外線を照射し、基板3の電極4をクリーニングする。またクリーニング箇所にのみ真空紫外線を照射するためのマスク10を設ける。
請求項（抜粋）：
ケースと、このケースの内部を真空吸引する真空吸引手段と、このケースの内部に設けられた基板の載置部と、この載置部に載置された基板へ真空紫外線を照射する真空紫外線ランプと、この基板とこの真空紫外線ランプの間にあって基板のクリーニング箇所に対応する位置に窓部が設けられたマスクとから成ることを特徴とする基板のクリーニング装置。
IPC (3件)：
H05K 3/26
, B08B 5/04
, H05K 3/34 501
