特許

J-GLOBAL ID：200903088962211089

液晶表示装置

発明者： 高畠 勝
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小野寺 洋二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-346187
公開番号（公開出願番号）：特開2001-166333
出願日： 1999年12月06日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【課題】低温CVD工程で十分に低抵抗化されたアルミニウム材料を主成分の配線を有する液晶表示装置を提供する。【解決手段】ゲート電極GTを、アルミニウムに0.2乃至0.6at%のネオジム元素を添加したアルミニウム-ネオジム合金膜を下層g1とし、その上層に高融点金属層g2を積層した。

請求項（抜粋）：

走査信号を印加するゲート配線と画像信号を印加するドレイン配線の交叉部に、前記ゲート配線から延びるゲート電極と前記ドレイン配線から延びるドレイン電極および画素領域に形成した画素電極に接続するソース電極を有する薄膜トランジスタを形成した一方の基板と、少なくともカラーフィルタを有する他方の基板とからなり、前記一方の基板と他方の基板の間に液晶層を封入した液晶表示装置であって、前記ゲート配線およびゲート電極が、アルミニウムに0.2乃至0.6at%のネオジム元素を添加したアルミニウム-ネオジム合金膜で形成したことを特徴とする液晶表示装置。

IPC (5件)：

G02F 1/1365 ,  G02F 1/1343 ,  G09F 9/30 330 ,  H01L 21/28 301 ,  H01L 29/786

FI (6件)：

G02F 1/1343 ,  G09F 9/30 330 Z ,  H01L 21/28 301 L ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 29/78 617 M ,  H01L 29/78 617 L

Fターム (50件)：

2H092GA25 ,  2H092GA27 ,  2H092HA04 ,  2H092JA26 ,  2H092JA46 ,  2H092JB24 ,  2H092KA12 ,  2H092KA18 ,  2H092KB04 ,  2H092MA07 ,  2H092NA16 ,  2H092NA28 ,  2H092PA08 ,  4M104BB02 ,  4M104BB13 ,  4M104BB38 ,  4M104BB39 ,  4M104CC05 ,  4M104DD79 ,  4M104GG20 ,  4M104HH03 ,  4M104HH16 ,  5C094AA21 ,  5C094AA43 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094CA23 ,  5C094DA13 ,  5C094EA03 ,  5C094EA04 ,  5C094EA07 ,  5C094FB02 ,  5C094FB12 ,  5C094GB01 ,  5C094JA01 ,  5C094JA02 ,  5F110AA30 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE14 ,  5F110FF03 ,  5F110FF29 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04