特許
J-GLOBAL ID：200903088973002040
ウェーハプロービング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-075031
公開番号（公開出願番号）：特開平5-283489
出願日： 1992年03月31日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：
【要約】【目的】ウェーハテスト工程において、サイズの大きなペレットの探針位置合わせを行なう際に、実体顕微鏡の倍率を高倍率にして作業できるようにすることによって探針ずれを防止する。【構成】ペレット7上の離れた2点のボンディングパッド1a,1bの像を集め実体顕微鏡の対物レンズへ導くミラー3,4,5,6を備え、前記像を拡大して同一視野内で2点のボンディングパッド1a,1bと探針2a,2bとの位置合わせを行う。
請求項（抜粋）：
実体顕微鏡下で探針とボンディングパッドとの位置合わせを行いペレットの電気特性を測定するウェーハプロービング装置において、ペレット上の離れた2点のボンディングパッド像を集め対物レンズに導くためのミラーを有し、前記の像を拡大して同一視野内で前記2点のボンディングパッドと探針との位置合わせを行うことを特徴とするウェーハプロービング装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 1/073
, G01R 31/26
