半導体装置及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：外川英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-075511
公開番号（公開出願番号）：特開2002-280463
出願日： 2001年03月16日
公開日（公表日）： 2002年09月27日
要約：

【要約】【課題】高信頼性で高歩留まりの半導体装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】半導体基板10上に形成された第1ゲート電極19と、この第1ゲート電極の一方の側面下の半導体基板中に形成された第1拡散層20と、第1ゲート電極の他方の側面下の半導体基板中に形成された第2拡散層18と、この第2拡散層の上に側面が形成された第2ゲート電極13と、第1ゲート電極と第2ゲート電極間を埋め込み、第1拡散層上では、第1ゲート電極と第2ゲート電極間を埋め込む厚さよりも薄く形成され、窒素を主成分としない第1絶縁膜25と、この第1絶縁膜上に形成された第2絶縁膜26と、この第2絶縁膜上に形成され、この第2絶縁膜とは主成分が異なる層間絶縁膜27と、第1拡散層に接続され、第1絶縁膜、第2絶縁膜及び層間絶縁膜中に形成されたコンタクト電極23とを有する半導体装置である。

請求項（抜粋）：

半導体基板と、この半導体基板上に形成された第1ゲート電極と、この第1ゲート電極の一方の側面下の前記半導体基板中に形成された第1拡散層と、前記第1ゲート電極の他方の側面下の前記半導体基板中に形成された第2拡散層と、この第2拡散層の上に側面が形成された第2ゲート電極と、前記第1ゲート電極と前記第2ゲート電極間を埋め込み、前記第1拡散層上では、前記第1ゲート電極と前記第2ゲート電極間を埋め込む厚さよりも薄く形成され、窒素を主成分としない第1絶縁膜と、この第1絶縁膜上に形成された第2絶縁膜と、この第2絶縁膜上に形成され、この第2絶縁膜とは主成分が異なる層間絶縁膜と、前記第1拡散層に接続され、前記第1絶縁膜、第2絶縁膜及び層間絶縁膜中に形成されたコンタクト電極とを有することを特徴とする半導体装置。

IPC (6件)：

H01L 21/8247 , H01L 27/115 , H01L 21/283 , H01L 21/768 , H01L 29/788 , H01L 29/792

FI (5件)：

H01L 21/283 C , H01L 27/10 434 , H01L 21/90 M , H01L 21/90 D , H01L 29/78 371

Fターム (83件)：

4M104BB01 , 4M104BB02 , 4M104BB18 , 4M104CC01 , 4M104DD06 , 4M104DD15 , 4M104DD17 , 4M104DD18 , 4M104DD63 , 4M104DD72 , 4M104EE05 , 4M104EE09 , 4M104EE12 , 4M104EE14 , 4M104EE15 , 4M104EE16 , 4M104EE17 , 4M104FF13 , 4M104GG16 , 4M104HH04 , 4M104HH12 , 4M104HH16 , 5F033HH07 , 5F033JJ03 , 5F033JJ07 , 5F033JJ08 , 5F033JJ19 , 5F033KK01 , 5F033NN38 , 5F033QQ08 , 5F033QQ09 , 5F033QQ10 , 5F033QQ21 , 5F033QQ23 , 5F033QQ35 , 5F033QQ37 , 5F033QQ48 , 5F033QQ74 , 5F033QQ75 , 5F033RR04 , 5F033RR05 , 5F033RR07 , 5F033RR08 , 5F033RR15 , 5F033TT02 , 5F033VV16 , 5F033XX01 , 5F033XX07 , 5F033XX10 , 5F033XX15 , 5F033XX28 , 5F083EP02 , 5F083EP23 , 5F083EP32 , 5F083EP76 , 5F083EP78 , 5F083EP79 , 5F083ER03 , 5F083ER22 , 5F083GA06 , 5F083GA24 , 5F083GA25 , 5F083JA36 , 5F083JA39 , 5F083JA56 , 5F083MA06 , 5F083MA16 , 5F083MA20 , 5F083NA01 , 5F083NA02 , 5F083PR06 , 5F083PR33 , 5F083PR40 , 5F101BA01 , 5F101BA23 , 5F101BB05 , 5F101BD04 , 5F101BD22 , 5F101BD34 , 5F101BD45 , 5F101BE07 , 5F101BF09 , 5F101BH13

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