特許
J-GLOBAL ID：200903088974175835
ペリクルおよびその使用方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小栗 昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-166885
公開番号（公開出願番号）：特開2002-055439
出願日： 2001年06月01日
公開日（公表日）： 2002年02月20日
要約：
【要約】【課題】洗浄のために照射される紫外線によるペリクル膜とペリクルフレームとを接着する接着剤の劣化を防止する。【解決手段】合成石英ガラスからなるペリクル膜2を、接着剤4により枠状のペリクルフレーム5の開口部に接着してなるペリクルにおいて、接着剤を紫外光照射から遮光するための遮光体3を備えることを特徴とするペリクル。
請求項（抜粋）：
合成石英ガラスからなるペリクル膜を、接着剤により枠状のペリクルフレームの開口部に接着してなるペリクルにおいて、接着剤を紫外光照射から遮光するための遮光体を備えることを特徴とするペリクル。
Fターム (4件)：
2H095BA01
, 2H095BA07
, 2H095BC33
, 2H095BC35
