特許

J-GLOBAL ID：200903088974396971

圧電式アクチュエータの形成方法および液体吐出ヘッド

発明者： 菊池 広実 ,  定村 茂 ,  阿部 徹
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-339521
公開番号（公開出願番号）：特開2003-142750
出願日： 2001年11月05日
公開日（公表日）： 2003年05月16日
要約：

【要約】【課題】 厚さが均一で、高精細な圧電体アレイを有する圧電式アクチュエータとその形成方法を提供する。【解決手段】 基板上にレジストパターンを形成する工程と、ガスデポジション法を用いて前記レジストパターンを覆うようにして前記基板上に圧電膜を形成する工程と、前記レジストパターンを除去することで圧電膜をパターニングすることにより圧電体ストライプを所定の間隔で並べた圧電体アレイを作製する工程を備える圧電式アクチュエータの形成方法を用いる。

請求項（抜粋）：

基板上にレジストパターンを形成する工程と、ガスデポジション法を用いて前記レジストパターンを覆うようにして前記基板上に圧電膜を形成する工程と、前記レジストパターンを除去することで圧電膜をパターニングすることにより、圧電体ストライプを所定の間隔で並べた圧電体アレイを作製する工程を備えることを特徴とする圧電式アクチュエータの形成方法。

IPC (9件)：

H01L 41/22 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  C23C 14/04 ,  C23F 1/00 102 ,  C23F 1/02 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18

FI (9件)：

C23C 14/04 B ,  C23F 1/00 102 ,  C23F 1/02 ,  H01L 41/22 Z ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/08 U ,  H01L 41/18 101 Z ,  H01L 41/08 C

Fターム (29件)：

2C057AF37 ,  2C057AF93 ,  2C057AG16 ,  2C057AG39 ,  2C057AG44 ,  2C057AG55 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP31 ,  2C057AP51 ,  2C057AP52 ,  2C057AQ06 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14 ,  4K029AA02 ,  4K029BA13 ,  4K029BA17 ,  4K029BA46 ,  4K029BA50 ,  4K029BB03 ,  4K029CA05 ,  4K029GA03 ,  4K029HA07 ,  4K057WA11 ,  4K057WB02 ,  4K057WC05 ,  4K057WE08 ,  4K057WG08 ,  4K057WN01