特許
J-GLOBAL ID：200903088976483278
多段式真空ポンプ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 徹男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-083487
公開番号（公開出願番号）：特開平7-305689
出願日： 1995年03月16日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：
【要約】【目的】 到達真空度が高く、発生熱量の少ない多段式真空ポンプを提供する。【構成】 複数のルーツポンプ(3、5、7、9)を設け、そのケーシング(11)はそれぞれ別体に構成し、各ポンプ室(13)を排気用配管(35、37、39、41、43)で直列に連通する。各ルーツポンプのロータ(15、17)の駆動軸をぞれぞれ別体にし、これらをそれぞれ異なる回転数で駆動できるようにする。
請求項（抜粋）：
吸気口と排気口を備えたポンプ室を構成するケーシングと、前記ポンプ室内に配置され、互いに平行な軸上に装着され互いに噛み合って回転する一対のロータと、前記ポンプ室の外部で前記平行な軸の端部に装着されて互いに噛み合い、前記一対のロータを同期回転させるタイミングギヤとを備えてなる、複数のルーツポンプと、前記複数のルーツポンプの前段側のポンプの排気口と後段側のポンプの吸気口とを順次繋ぎ、前記複数のポンプの前記ポンプ室を直列に連通させる排気用配管とを備え、前記複数のルーツポンプの前記ケーシングを各別体のものとして構成し、各ポンプの前記ロータの回転数を各別に設定可能としたことを特徴とする、多段式真空ポンプ。
IPC (4件)：
F04C 23/00
, F04C 18/18
, F04C 25/02
, F04C 29/10 311
