特許

J-GLOBAL ID：200903088979066449

透明導電膜

発明者： ▲葛▼ 宗涛 ,  藤井 道夫 ,  羽賀 浩一
出願人/特許権者： 東北リコー株式会社
代理人 (1件)： 柏木 慎史 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-083015
公開番号（公開出願番号）：特開2000-276943
出願日： 1999年03月26日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】 導電性及び光の透過性に優れた酸化亜鉛膜を利用した透明導電膜を提供することである。【解決手段】 酸化亜鉛薄膜のc軸:a軸の配向性の比が100:1以上、もしくは、酸化亜鉛薄膜のc軸:c軸以外の軸に配向性の比が100:1以上であり、且つ、アルミニウム、ガリウム、ホウ素などIII族及びVII族化合物のうち少なくとも1種類をドーピングした。

請求項（抜粋）：

酸化亜鉛薄膜のc軸:a軸の配向性の比が100:1以上であり、且つ、アルミニウム、ガリウム、ホウ素などIII族及びVII族化合物のうち少なくとも1種類ドーピングされたものであることを特徴とする透明導電膜。

IPC (5件)：

H01B 1/08 ,  C23C 16/40 ,  G02F 1/1343 ,  H01B 5/14 ,  H01L 31/04

FI (5件)：

H01B 1/08 ,  C23C 16/40 ,  G02F 1/1343 ,  H01B 5/14 A ,  H01L 31/04 M

Fターム (29件)：

2H092HA03 ,  2H092HA15 ,  2H092HA22 ,  2H092KA18 ,  2H092KA20 ,  2H092MA07 ,  2H092MA27 ,  2H092NA25 ,  2H092NA28 ,  4K030AA11 ,  4K030BA21 ,  4K030BA42 ,  4K030BB01 ,  4K030JA06 ,  4K030LA04 ,  4K030LA16 ,  5F051CB12 ,  5F051FA02 ,  5F051FA08 ,  5G301CA02 ,  5G301CA12 ,  5G301CA27 ,  5G301CA30 ,  5G301CD03 ,  5G301CE01 ,  5G307FA01 ,  5G307FB01 ,  5G307FC09 ,  5G307FC10