特許

J-GLOBAL ID：200903088992424079

原版チャック、該原版チャックを備えた露光装置および半導体デバイス製造方法

発明者： 横田 幸広
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-152340
公開番号（公開出願番号）：特開2001-332480
出願日： 2000年05月24日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：

【要約】【課題】 レチクル等の原版を吸着保持する際の原版の変形を防止して、原版の変形による原版パターンの歪みやウエハ等の基板上に転写されるパターン歪みを小さくすることができる原版チャックを提供する。【解決手段】 原版Rの4隅をそれぞれ吸着するように配置された4個の吸着保持部3a〜3dを、原版Rに当接する部分に配置される鋼球5と、その周りに取り付けられた弾性体の吸着パッド8とで構成し、真空源の作動により吸着孔7を介して吸着パッド8内を負圧にすることによって吸着パッド8により原版Rを吸着するとともに鋼球5で点接触により原版Rを支持する。また、少なくとも1個の吸着保持部3dを上下方向に調整可能なものとすることもできる。これにより、吸着面の面形状や吸着面の段差によるレチクル等の原版の変形を防止することができ、ウエハ上に転写されるパターン歪みを防止することができる。

請求項（抜粋）：

原版を保持するための吸着保持部を備えた原版チャックにおいて、前記吸着保持部は原版に接触する部分の形状を球状とすることを特徴とする原版チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 1/14 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

G03F 1/14 M ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 503 D ,  H01L 21/30 502 G

Fターム (7件)：

2H095BE12 ,  5F046CC02 ,  5F046CC09 ,  5F046CC11 ,  5F046DA04 ,  5F046DA06 ,  5F046DD06