特許
J-GLOBAL ID:200903088998104076
着色感光性樹脂組成物用現像液
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鐘尾 宏紀 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-159638
公開番号(公開出願番号):特開平10-010748
出願日: 1996年06月20日
公開日(公表日): 1998年01月16日
要約:
【要約】【課題】現像後の非画像部の残渣、パターンの剥がれ、膜ベリのない着色感光性樹脂組成物用現像液を提供する。【解決手段】着色感光性樹脂組成物用現像液は、ポリオキシアルキレン鎖及び芳香族基を分子中に有するノニオン系界面活性剤を含むアルカリ水溶液からなる。さらに、カラーフィルターの製造においては、アルカリ性化合物として水酸化テトラメチルアンモニウムもしくはコリンを使用することにより、液晶中への金属イオンの溶出のないカラーフィルター層を得ることができる。
請求項(抜粋):
ポリオキシアルキレン鎖及び芳香族基を分子中に有するノニオン系界面活性剤を含むアルカリ水溶液であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物用現像液。
IPC (6件):
G03F 7/32
, B01F 17/42
, B01F 17/52
, C11D 1/72
, G02B 5/20 101
, G03F 7/004 505
FI (6件):
G03F 7/32
, B01F 17/42
, B01F 17/52
, C11D 1/72
, G02B 5/20 101
, G03F 7/004 505
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